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微控擴散爐

起訂量: 面議
價(jià) 格: 面議
品牌: 福潤德
供貨總量: 面議
發(fā)貨期限: 自買(mǎi)家付款之日起 3 天內發(fā)貨
所在地: 山東青島市
有效期至: 長(cháng)期有效
最后更新: 2024-09-20 09:12
關(guān)注人數: 298
公司基本資料信息
青島福潤德微電子設備有限公司
     [誠信檔案]
聯(lián)系人 顏廷福(先生) 業(yè)務(wù)員     
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地區山東 青島市
地址青島市城陽(yáng)區北萬(wàn)工業(yè)園
您還可以:
  • 品牌:
    福潤德
  • 發(fā)貨期限:
    自買(mǎi)家付款之日起 3 天內發(fā)貨
  • 所在地:
    山東青島市
擴散爐主要滿(mǎn)足半導體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè),對所加工的硅片進(jìn)行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統、 控制系統、超凈化操作系統等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。

擴散爐技術(shù)指標:
可處理硅片尺寸:2—12英寸
外型形式:臥式1—4管結構
工作溫度:200℃—1300℃
恒溫區長(cháng)度及精度:200mm—1100mm≤±0.5℃
單點(diǎn)溫度穩定性、重復性:≤±1℃/24h
溫度斜變:可控升溫速率15℃/min
可控降溫速率:5℃/min
送片裝置:手動(dòng)推拉
氣路系統:1—5路工藝氣體/管
氣體控制:手動(dòng)浮子流量計
控制方式:程控

聯(lián)系時(shí)請說(shuō)是在機電商情網(wǎng)看到我的,謝謝!

 
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